张汝京《纳米集成电路制造工艺(第2版)》PDF电子版完整版百度云可下载

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《纳米集成电路制造工艺》这本书主要介绍了集成电路制造中重要的前端工艺技术,内容比较专业和技术性。这本书的评价也不错,主要特点如下:

1. 这本书系统和深入地介绍了集成电路制造的各个 frontend 工艺技术,从晶圆制造、光刻、等离子蚀刻、氧化物沉积、金属化、CMP平坦化等,几乎涵盖了所有工艺流程,有助于读者对IC制造工艺有一个整体和深入的了解。

2. 每个工艺技术都从基本原理、设备结构和关键技术等方面进行了详细讲解。并探讨了该工艺技术面临的挑战,最新的进展及未来发展方向。内容比较新颖而专业。

3. 本书作者是美国西北大学的资深工程师,在集成电路制造领域具有丰富的工作和教学经验。所以,书中内容专业权威,而语言又比较通俗易懂,这也是这本书的最大优点。

4. 这本书适合有一定电子与微电子基础,并有兴趣深入了解集成电路制造工艺的工程师阅读。但由于内容较为专业,普通读者可能会感觉晦涩难懂。

总之,这是一本比较专业的工艺教材。如果想系统和深入学习IC的前端制造技术,这本书是很好的选择。但由于专业性较强,普通读者可能略显吃力。如果对集成电路工艺感兴趣,建议事先具备一定基础知识再阅读。

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