王蔚, 田丽, 任明远《集成电路制造技术：原理与工艺》PDF电子版完整版百度云可下载

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《集成电路制造技术:原理与工艺》是一本介绍集成电路制造工艺的权威教材。这本书的评价比较高,主要特点如下:

1. 这本书系统和全面地介绍了集成电路制造的所有工艺技术,从晶圆制造到封装测试,几乎涵盖了整个IC制造过程。每种工艺都从基本原理、设备和工艺流程进行了详细讲解,内容很全面。

2. 这本书不仅讲解工艺技术本身,还阐明了各种工艺背后的科学原理,如光学原理、热力学原理、化学反应原理等。这有助于读者加深对工艺的理解,而不仅停留在工艺流程层面。

3. 这本书的作者是美国Georgia工业大学的教授,在微电子领域非常权威。书中参考和引用的资料也很丰富,包括大量实验数据和研究报告。所以,这本书的专业性和权威性都比较高。

4. 每章节 Exercise 部分提供大量习题,有助于读者检验学习效果和理解度。Appendices 部分也提供了集成电路制造相关的专业知识,对学习很有补充作用。

5. 这本书入门难度较大,适合有一定微电子学基础的工程师阅读。对于普通读者来说可能比较晦涩难懂,需要一定耐心和精力才能读懂。

综上,这是一本非常专业而全面地介绍IC制造技术的教材。如果想深入理解集成电路制造工艺,这本书是很好的选择。但由于专业性强,一般读者可能会感到较难懂。建议事先具有一定微电子知识再阅读这本书。

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